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先导微电子-千级、万级净化装修

作者:华业 时间:2023-02-10

工程概况:核心区域洁净度等级要求高,固定区域内风量、温度、湿度、压差、设备排风需按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控。另外此类洁净室对静电要求极其严格,对湿度要求尤其高。

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